水环真空泵是一种变容积泵,可以抽除易燃、易爆及腐蚀性气体,还可以抽除含有灰尘和水分的气体。该种真空泵具有结构简单、易维修、磨损小、安全性高、不会污染被输送气体等优点,缺点是效率不高,且获得真空度不高(粗真空)。水环泵的主要原料为铸件,容易加工,属于劳动密集型产品,因此国产产品相比进口泵有价格优势,目前应用范围较广。
旋片真空泵是基本的真空获得设备之一,它是一种油封式机械真空泵,适用于密闭系统的气体抽取,如真空包装、真空成形、真空吸引等,但是不可用于抽除含氧量高、对金属有腐蚀性、可与泵油起化学反应、含有颗粒尘埃的气体,也不能抽除水或其他液体。旋片泵具有体积小、重量小、噪音低等优点,能够获得较高的真空度。
滑阀真空泵属于一种油封式变容真空泵,可以用来抽取一般性气体或者含有少量气凝性气体,相比旋片泵,具有可以在高压强下工作(104Pa)、抽气量大、可以在较恶劣的工况下使用和经久耐用等优点,主要应用在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等方面。滑阀泵的铸件重,加工工作量大。
罗茨真空泵具有启动快、功耗小、抽速大等优点,能够抽除含有水蒸气和灰尘的气体,能敏捷抽除忽然放出的气体,使用罗茨泵可以减少抽气时间,提升生产效率。目前国产罗茨泵与进口产品相比市场份额较小。
干式螺旋真空泵,是一种相对较新的真空获得设备,具有可靠性高、使用寿命长、动力平衡性能好、适应强、能够多相混合输送等特点,可以抽除有腐蚀性的、有毒、含有粉尘的气体以及可凝性蒸汽等多种气体。干泵的应用范围非常广,行业包括半导体行业、化工行业、薄膜工业等,来自这三个行业的需求是干泵市场的主要驱动力。
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