1、尘埃粒子高允许数(每立方米):大于等于0.5微米的不超过3500000个,大于等于5微米的不超过20000个;
2、微粒高允许数:浮游菌数量每立方米不得超过500个;每个培养皿的沉降菌数不得超过10个。
3、送风方式:(1)局部孔板顶棚送风;(2)带扩散板高效空气过滤器顶棚送风;(3)上侧墙送风等三种送风方式。
4、回风方式:(1)单侧墙下部布置回风口;(2)当采用过道回风时,在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。
5、风口风速:送风口风速米/秒:(1)孔板孔口3~5;(2)侧送风口:①贴附射流2~5;②非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回风1.0~1.5。
6、压差:相同洁净度级别的洁净车间之间的压差应一致,不同洁净度级别的相邻洁净车间之间的压差应5Pa,洁净车间与非洁净车间之间的压差应10Pa。
7、噪声:(1)动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。(2)静态检测时,万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
8、温度、湿度:10万级无尘室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净服不产生舒适感为宜,温度一般在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度在30-50%,春夏季洁净车间空气湿度在50-70%。
9、配电:洁净室(区)内主要生产用地的一般照度值应300 LX;辅助工作室、人员清洗和材料清洗室、气闸室、过道等的照度值。应该是200~300Lx。